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Vol.1 : 組立技術
Vol.1 : Assembly Technology

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半導体デバイスの欠陥形状観察装置の組立に挑む

お客様からのご要望

成果

坂戸工場内では、2,000点を超える組立部品の調達から、加工、組立までも独自の管理体制を確立し、精密加工品の組立でお客様に貢献しています。

POINT 1
部品管理用システムを独自開発
お客様から送られてくる大量の部品について過不足がないか管理し、組立作業者が困惑することなく作業できるように独自の管理システムを確立、運用可能にしました。
お客様から送られて来た大量の部品
組立手順の管理
大量部品のシステム管理
管理部品を作業者が把握
POINT 2
豊富な経験からモノづくりの精度を高める提案を実施
架台上に立てる4本の支柱の穴合わせのために、当初は治工具を作って対応しました。その後、治工具なしでも正確な位置決めができるように設計変更をお客様に提案し、部品の追加で解決を実現しました。
支柱の位置決め

解決したライトの技術と設備

EQUIPMENT
クリーンな組立環境
坂戸工場には精密装置を組み立てるためのクリーンルームが完備されています。
室内の床は静電塗装を施し、大型品の組立を行いやすくする天井クレーンを装備しています。
EQUIPMENT
完成重量品の荷下ろし
納品時に大型製品を階下に下ろすための昇降機を完備しています。総重量2.8トンまでの精密装置を静かに降ろすことが可能です。
TECHNOLOGY
大型品の溶接・精密加工
一貫生産体制でお客様に高い評価をいただいている当社は、大型構造部品である架台と支柱の製造でも、高度な溶接技術と精密加工技術で貢献しています。

技術担当者が語る

お客様からは、以前からご依頼を受けていた電子顕微鏡の受託製造で、坂戸工場の溶接技術力や大型精密加工のレベルを高く評価されています。2016年頃から受注した本装置「欠陥形状評価SEM」に関し、当初の依頼は、架台の溶接と部品点数が20点程度の組立作業でした。こうした作業は1ユニットを約数時間で組み立てが完了し、短いリードタイムでお客様に納品していました。

こうした実績を積み重ね、あるタイミングでほぼ完成形に近い形の組立を受注するようになりました。膨大な部品点数の組立作業にはそれまでとは違った工夫が必要で、作業効率化を図る独自システムの開発や、クレーン装備のクリーンルームで新しい組立環境を整えるなど、お客様からの高度なご要望にお応えしています。

半導体製造装置の受託開発・製造を手掛ける坂戸工場の組立技術者として、これまでも新規案件に携わることが多く、そのたびに試行錯誤とチャレンジの連続でした。お客様との直接対話を繰り返して製品構造の理解を高め、設計者の意図を汲み、時には当社からの提案も行いながらお客様が求める以上の答えを提供し、更なる信頼の獲得を目指します。さらにその延長線上には、若い技術者の育成という大きなテーマがあることも、決して忘れてはいません。

村上 佑允
坂戸工場 製造技術課
マネージャー

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