ロードポート
Load port

半導体搬送装置 RightPortの開発・製造

RightPortは、半導体製造の現場でウエハなどの品質の安定や、生産性の向上に貢献する搬送用装置として活躍しています。また、独自の機構をもつN2パージシステムは、微細化が進む半導体製造工程の品質向上に貢献しています。ライトはお客様のニーズに合わせたアプリケーションの提案をはじめ、さまざまなご要望にお応えします。